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ITO(Indium Tin Oxide) 박막의 대기압 저온 플라스마 토치에 의한 식각
ITO(Indium Tin Oxide) 박막의 대기압 저온 플라스마 토치에 의한 식각
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008171023s2002 a a jpn■022 ▼a17388228
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■300 ▼app. 458
■7001 ▼a李奉柱
■773 ▼t대한금속ㆍ재료학회지▼gv.40 n.4▼d2002, 04
■SIS ▼aKS008589▼b63212▼h3▼sG
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