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방사광을 이용한 전반사 형광 X선 분석시 실리콘 웨이퍼의 결정방향에 대한 배경강도 의존성 연구
방사광을 이용한 전반사 형광 X선 분석시 실리콘 웨이퍼의 결정방향에 대한 배경강도 의존성 연구
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 17388228
- Title/Author
- 방사광을 이용한 전반사 형광 X선 분석시 실리콘 웨이퍼의 결정방향에 대한 배경강도 의존성 연구 / 許秉國
- Material Info
- pp. 545
- Added Entry-Personal Name
- 許秉國
- Host Item Entry
- 대한금속ㆍ재료학회지 : v.40 n.5 2002, 05
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- gtec:353530
MARC
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