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방사광을 이용한 전반사 형광 X선 분석시 실리콘 웨이퍼의 결정방향에 대한 배경강도 의존성 연구
방사광을 이용한 전반사 형광 X선 분석시 실리콘 웨이퍼의 결정방향에 대한 배경강도 의존성 연...
방사광을 이용한 전반사 형광 X선 분석시 실리콘 웨이퍼의 결정방향에 대한 배경강도 의존성 연구

Detailed Information

자료유형  
 기사
ISSN  
17388228
서명/저자  
방사광을 이용한 전반사 형광 X선 분석시 실리콘 웨이퍼의 결정방향에 대한 배경강도 의존성 연구 / 許秉國
형태사항  
pp. 545
기타저자  
許秉國
기본자료저록  
대한금속ㆍ재료학회지 : v.40 n.5 2002, 05
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
gtec:353530

MARC

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