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Ti buffer layer를 갖는 TiN 박막의 합성과 특성 분석에 관한 연구
Ti buffer layer를 갖는 TiN 박막의 합성과 특성 분석에 관한 연구 / 金廣碩
Ti buffer layer를 갖는 TiN 박막의 합성과 특성 분석에 관한 연구

상세정보

자료유형  
 기사
ISSN  
17388228
서명/저자  
Ti buffer layer를 갖는 TiN 박막의 합성과 특성 분석에 관한 연구 / 金廣碩
형태사항  
pp. 655
기타저자  
金廣碩
기본자료저록  
대한금속ㆍ재료학회지 : v.40 n.6 2002, 06
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
gtec:353457

MARC

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