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마이크로 인장시험법을 이용한 단결정 실리콘의 파괴강도에 미치는 공정 및 크기효과 평가
마이크로 인장시험법을 이용한 단결정 실리콘의 파괴강도에 미치는 공정 및 크기효과 평가
상세정보
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