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기판 바이어스에 의해 증착된 고순도 구리 박막의 전기 비저항에 대한 박막두께 의존성
기판 바이어스에 의해 증착된 고순도 구리 박막의 전기 비저항에 대한 박막두께 의존성 / 임재원
기판 바이어스에 의해 증착된 고순도 구리 박막의 전기 비저항에 대한 박막두께 의존성

Detailed Information

자료유형  
 기사
ISSN  
17388228
서명/저자  
기판 바이어스에 의해 증착된 고순도 구리 박막의 전기 비저항에 대한 박막두께 의존성 / 임재원
형태사항  
pp. 672
기타저자  
임재원
기본자료저록  
대한금속ㆍ재료학회지 : v.43 n.10 2005, 10
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
gtec:353337

MARC

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