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기판 바이어스에 의해 증착된 고순도 구리 박막의 전기 비저항에 대한 박막두께 의존성
기판 바이어스에 의해 증착된 고순도 구리 박막의 전기 비저항에 대한 박막두께 의존성
상세정보
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