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수소 첨가에 따른 육방정 질화붕소 박막의 표면 구조와 잔류응력 감소에 관한 연구
수소 첨가에 따른 육방정 질화붕소 박막의 표면 구조와 잔류응력 감소에 관한 연구 / 이은옥
수소 첨가에 따른 육방정 질화붕소 박막의 표면 구조와 잔류응력 감소에 관한 연구

상세정보

자료유형  
 기사
ISSN  
17388228
서명/저자  
수소 첨가에 따른 육방정 질화붕소 박막의 표면 구조와 잔류응력 감소에 관한 연구 / 이은옥
형태사항  
pp. 667
기타저자  
이은옥
기본자료저록  
대한금속ㆍ재료학회지 : v.43 n.10 2005, 10
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
gtec:353336

MARC

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