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증착 속도 변화에 따른 구리와 은 박막의 실시간 고유응력 거동
증착 속도 변화에 따른 구리와 은 박막의 실시간 고유응력 거동 / 류상
증착 속도 변화에 따른 구리와 은 박막의 실시간 고유응력 거동

Detailed Information

자료유형  
 기사
ISSN  
17388228
서명/저자  
증착 속도 변화에 따른 구리와 은 박막의 실시간 고유응력 거동 / 류상
형태사항  
pp. 283
기타저자  
류상
기본자료저록  
대한금속ㆍ재료학회지 : v.46 n.5 2008, 05
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
gtec:353304

MARC

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