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DRIE 공정 변수에 따른 TSV 형성에 미치는 영향
DRIE 공정 변수에 따른 TSV 형성에 미치는 영향 / 김광석
DRIE 공정 변수에 따른 TSV 형성에 미치는 영향

상세정보

자료유형  
 기사
ISSN  
17388228
서명/저자  
DRIE 공정 변수에 따른 TSV 형성에 미치는 영향 / 김광석
형태사항  
pp. 1028
기타저자  
김광석
기본자료저록  
대한금속ㆍ재료학회지 : v.48 n.11 2010, 11
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
gtec:353280

MARC

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