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기판바이어스 전압이 나노복합구조 CrZrSiN 박막의 기계적 물성에 미치는 영향에 관한 연구
기판바이어스 전압이 나노복합구조 CrZrSiN 박막의 기계적 물성에 미치는 영향에 관한 연구 / 김...
기판바이어스 전압이 나노복합구조 CrZrSiN 박막의 기계적 물성에 미치는 영향에 관한 연구

상세정보

자료유형  
 기사
ISSN  
17388228
서명/저자  
기판바이어스 전압이 나노복합구조 CrZrSiN 박막의 기계적 물성에 미치는 영향에 관한 연구 / 김규성
형태사항  
pp. 549
기타저자  
김규성
기본자료저록  
대한금속ㆍ재료학회지 : v.53 n.8 2015, 08
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
gtec:350941

MARC

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