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비대칭 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착한 초경도 탄화규소 박막
비대칭 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착한 초경도 탄화규소 박막 / 배경은
비대칭 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착한 초경도 탄화규소 박막

상세정보

자료유형  
 기사
ISSN  
17388228
서명/저자  
비대칭 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착한 초경도 탄화규소 박막 / 배경은
형태사항  
pp. 541
기타저자  
배경은
기본자료저록  
대한금속ㆍ재료학회지 : v.53 n.8 2015, 08
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
gtec:350940

MARC

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