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6.7nm 리소그래피용 브래그 반사형 거울과 흡수체 물질 연구
6.7nm 리소그래피용 브래그 반사형 거울과 흡수체 물질 연구 / 정성훈
6.7nm 리소그래피용 브래그 반사형 거울과 흡수체 물질 연구

상세정보

자료유형  
 기사
ISSN  
17388228
서명/저자  
6.7nm 리소그래피용 브래그 반사형 거울과 흡수체 물질 연구 / 정성훈
형태사항  
pp. 379
기타저자  
정성훈
기본자료저록  
대한금속ㆍ재료학회지 : v.54 n.5 2016, 05
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
gtec:350874

MARC

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