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고 개구수 극자외선 노광 기술용 위상 변위 흡수체 구조의 설계
고 개구수 극자외선 노광 기술용 위상 변위 흡수체 구조의 설계 / 장용주
고 개구수 극자외선 노광 기술용 위상 변위 흡수체 구조의 설계

Detailed Information

자료유형  
 기사
ISSN  
17388228
서명/저자  
고 개구수 극자외선 노광 기술용 위상 변위 흡수체 구조의 설계 / 장용주
형태사항  
pp. 455
기타저자  
장용주
기본자료저록  
대한금속ㆍ재료학회지 : v.54 n.6 2016, 06
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
gtec:350861

MARC

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