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고집적회로제조에 있어서의 pt 전극의 식각기술동향
고집적회로제조에 있어서의 pt 전극의 식각기술동향 / 김현우
고집적회로제조에 있어서의 pt 전극의 식각기술동향

상세정보

자료유형  
 기사
ISSN  
17387507
서명/저자  
고집적회로제조에 있어서의 pt 전극의 식각기술동향 / 김현우
형태사항  
pp. 33
기타저자  
김현우
기본자료저록  
재료마당 : 大韓金屬學會會報 : 통권 68 2001, 10
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
gtec:349349

MARC

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