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유도결합 플라즈마를 이용한 공정기술 개발과 그 응용
유도결합 플라즈마를 이용한 공정기술 개발과 그 응용
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 17387507
- 서명/저자
- 유도결합 플라즈마를 이용한 공정기술 개발과 그 응용 / 유도결합 플라즈마를 이용한 공정기술 개발과 그 응용
- 형태사항
- pp. 36
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- gtec:348327
MARC
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