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Integrated Sustainability Analysis of Atomic Layer Deposition for Microelectronics Manufacturing
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Integrated Sustainability Analysis of Atomic Layer Deposition for Microelectronics Manufacturing

상세정보

자료유형  
 기사
ISSN  
10871357
서명/저자  
Integrated Sustainability Analysis of Atomic Layer Deposition for Microelectronics Manufacturing / Yuan, C.Y
기타저자  
Yuan, C.Y
기본자료저록  
Journal of Manufacturing Science and Engineering : v.132 n.3 2010, 06
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
gtec:345990

MARC

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