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감압 CVD용 액체 직접 기화 공급 시스템
감압 CVD용 액체 직접 기화 공급 시스템
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12271772
- 서명/저자
- 감압 CVD용 액체 직접 기화 공급 시스템 / 小野弘文
- 형태사항
- pp. 61
- 기타저자
- 小野弘文
- 기본자료저록
- 자동제어계측 : v.11 n.4 1998, 04
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- gtec:344114
MARC
008171010s1998 a a kor■022 ▼a12271772
■245 ▼a감압 CVD용 액체 직접 기화 공급 시스템▼d小野弘文
■300 ▼app. 61
■7001 ▼a小野弘文
■773 ▼t자동제어계측▼gv.11 n.4▼d1998, 04
■SIS ▼aKS007834▼b63138▼h3▼sG
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