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연재기사 연재(4) - 마이크로머신／MEMS의 양산을 지원하는 설계·제조 기술 : 양산 대응 고속 실리콘 딥 에칭 장치 'ASE-PEGASUS'
연재기사 연재(4) - 마이크로머신／MEMS의 양산을 지원하는 설계·제조 기술 : 양산 대응 고속 실리콘 딥 에칭 장치 'ASE-PEGASUS'
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12271101
- 서명/저자
- 연재기사 연재(4) - 마이크로머신／MEMS의 양산을 지원하는 설계·제조 기술 : 양산 대응 고속 실리콘 딥 에칭 장치 ASE-PEGASUS
- 형태사항
- pp. 139
- 기본자료저록
- 전자기술 : v.21 n.8 2008, 08
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- gtec:340318
MARC
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