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다구찌 기법을 활용한 반도체 연마 공정의 최적 설계수준 결정
다구찌 기법을 활용한 반도체 연마 공정의 최적 설계수준 결정
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12291889
- 서명/저자
- 다구찌 기법을 활용한 반도체 연마 공정의 최적 설계수준 결정 / 심현수 ( Hyun Su Sim ), 김용수 ( Yong Soo Kim )
- 형태사항
- pp. 293
- 기본자료저록
- 품질경영학회지 : v.45 n.2 2017, 06
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- gtec:323449
MARC
008170808s2017 a a kor■022 ▼a12291889
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