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다구찌 기법을 활용한 반도체 연마 공정의 최적 설계수준 결정
다구찌 기법을 활용한 반도체 연마 공정의 최적 설계수준 결정
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12291889
- Title/Author
- 다구찌 기법을 활용한 반도체 연마 공정의 최적 설계수준 결정 / 심현수 ( Hyun Su Sim ), 김용수 ( Yong Soo Kim )
- Material Info
- pp. 293
- Added Entry-Personal Name
- 심현수 ( Hyun Su Sim ), 김용수 ( Yong Soo Kim )
- Host Item Entry
- 품질경영학회지 : v.45 n.2 2017, 06
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- gtec:323449
MARC
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