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(논문) 기계적 거동: 비대칭 마그네트론 스퍼터링 방법에 의한 탄화붕소박막의 증착거동
(논문) 기계적 거동: 비대칭 마그네트론 스퍼터링 방법에 의한 탄화붕소박막의 증착거동
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008141205s2014 a a jpn■022 ▼a17388228
■245 ▼a(논문) 기계적 거동: 비대칭 마그네트론 스퍼터링 방법에 의한 탄화붕소박막의 증착거동▼d배경은▼e박종극
■300 ▼app. 969
■7001 ▼a배경은
■7001 ▼a박종극
■773 ▼t대한금속ㆍ재료학회지▼gv.52 n.12▼d2014, 12
■SIS ▼aKS029723▼b63212▼h3▼sG


