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(논문) 기계적 거동: 비대칭 마그네트론 스퍼터링 방법에 의한 탄화붕소박막의 증착거동
(논문) 기계적 거동: 비대칭 마그네트론 스퍼터링 방법에 의한 탄화붕소박막의 증착거동 / 배경...
(논문) 기계적 거동: 비대칭 마그네트론 스퍼터링 방법에 의한 탄화붕소박막의 증착거동

Detailed Information

자료유형  
 기사
ISSN  
17388228
서명/저자  
(논문) 기계적 거동: 비대칭 마그네트론 스퍼터링 방법에 의한 탄화붕소박막의 증착거동 / 배경은 ; 박종극
형태사항  
pp. 969
기타저자  
배경은
기타저자  
박종극
기본자료저록  
대한금속ㆍ재료학회지 : v.52 n.12 2014, 12
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
gtec:288098

MARC

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