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(논문) 기계적 거동: 비대칭 마그네트론 스퍼터링 방법에 의한 탄화붕소박막의 증착거동
(논문) 기계적 거동: 비대칭 마그네트론 스퍼터링 방법에 의한 탄화붕소박막의 증착거동
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 17388228
- Title/Author
- (논문) 기계적 거동: 비대칭 마그네트론 스퍼터링 방법에 의한 탄화붕소박막의 증착거동 / 배경은 ; 박종극
- Material Info
- pp. 969
- Added Entry-Personal Name
- 배경은
- Added Entry-Personal Name
- 박종극
- Host Item Entry
- 대한금속ㆍ재료학회지 : v.52 n.12 2014, 12
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- gtec:288098
MARC
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