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(논문-전자재료)반도체 배선용 구리 도금층의 미세조직 및 전기비저항 고찰
(논문-전자재료)반도체 배선용 구리 도금층의 미세조직 및 전기비저항 고찰 / 허석환 ; 전형진
(논문-전자재료)반도체 배선용 구리 도금층의 미세조직 및 전기비저항 고찰

Detailed Information

자료유형  
 기사
ISSN  
17388228
서명/저자  
(논문-전자재료)반도체 배선용 구리 도금층의 미세조직 및 전기비저항 고찰 / 허석환 ; 전형진
형태사항  
pp. 943
기타저자  
허석환
기타저자  
전형진
기본자료저록  
대한금속ㆍ재료학회지 : v.52 n.11 2014, 11
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
gtec:287393

MARC

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