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반도체공정개론 = Introdustion to Microelectronic Fabrication (2/E)
반도체공정개론 = Introdustion to Microelectronic Fabrication (2/E)
Detailed Information
- 자료유형
- 단행본
- ISBN
- 8970854916
- UDC
- 621.382
- DDC
- 621.38152 J22ㅂ-23
- 청구기호
- 621.38152 J22ㅂ
- 서명/저자
- 반도체공정개론 = Introdustion to Microelectronic Fabrication (2/E) / Richard C.Jaeger 저 ; 이상렬, 명재민, 윤일구 공역
- 발행사항
- 서울 : 교보문고, 2005
- 형태사항
- 351p. : 삽도 ; 24cm
- 내용주기
- 완전내용제1장 미소전자 제조 공정부분내용15완전내용제2장 리소그래피부분내용31완전내용제3장 실리콘 산화막부분내용57완전내용제4장 확산부분내용85완전내용제5장 이온 주입법부분내용131완전내용제6장 박막 증착부분내용155완전내용제7장 상호접속과 접촉부분내용181완전내용제8장 패키징 및 수용부분내용209완전내용제9장 MOS 공정 집적화부분내용235완전내용제10장 양극 공정 집적화부분내용27300완전내용제11장 MEMS 공정부분내용31311완전내용찾아보기부분내용34522
- 가격
- 15,000
- Control Number
- gtec:25034
MARC
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