자료유형  

 단행본

ISBN  

8989132436

UDC  

533.9

DDC  

533-23

청구기호  

533 염17ㅍ

저자명  

염근영 저

서명/저자  

플라즈마 식각기술 / 염근영 저

발행사항  

서울 : 미래컴, 2006

형태사항  

400p. : 삽도 ; 23cm

내용주기  

완전내용1장 서론부분내용9완전내용2장 기체의 특성부분내용31완전내용3장 가스입자간의 충돌현상부분내용61완전내용4장 플라즈마의 기초부분내용89완전내용5장 직류 플라즈마부분내용119완전내용6장 고주파 플라즈마부분내용163완전내용7장 고밀도 플라즈마부분내용199완전내용8장 플라즈마식각의 원리 및 공정인자의 영향부분내용249완전내용9장 다양한 물질의 식각부분내용307완전내용10장 플라즈마 진단기술부분내용34700

가격  

18,000

Control Number  

gtec:24937