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入門 眞空 薄膜 スパッタリング
入門 眞空 薄膜 スパッタリング / R.V.Stuart 저. =
入門 眞空 薄膜 スパッタリング

상세정보

자료유형  
 단행본
UDC  
621.54
DDC  
621.5 R987入-23
청구기호  
621.5 R987入
저자명  
R.V.Stuart 저.
서명/저자  
入門 眞空 薄膜 スパッタリング / R.V.Stuart 저. =
발행사항  
동경 : 技報堂, 1986
형태사항  
145 : 삽도 ; 22
주기사항  
입문 진공 박막 스펏터링 Vacuun Technology, Thin Films, andSputtering
가격  
￦
Control Number  
gtec:1137

MARC

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