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エピタキシ─とはどういうものか…1
基板の前處理…11
氣相エピタキシ─…17
液相エピタキシ─…45
分子線エピタキシ─…61
ヘテロエピタキシ─…81
エピタキシャル層の評價…95
エピタキシ─の物理化學…141