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목차정보
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목차정보
[목차정보]
第1章 薄膜の特徵…1
第2章 薄膜の形成法…6
第3章 薄膜の形成過程…36
第4章 薄膜の基礎物性…80
第5章 薄膜の構造と欠陷…124
第6章 薄膜の 評價法…146
第7章 金屬薄膜とその應用…164
第8章 半導體薄膜とその應用…187
第9章 セラミックス薄膜とその應用…210
第10章 高分子薄膜とその應用…229
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