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結晶成長とウェ─ハ加工
エビタキシ
誤電體膜とポリシリコン膜の堆積
酸化
擴散
イオン注入
リソグラフィ
ドライエッチング
メタライセ─ション
プロセスシミュレ─ション
VLSIブロセスの統合
分析. 評價技術
アセンブリとパツケ─ジ技術
步留リと信賴性