경기과학기술대학교 도서관

[목차정보]
	CVD의 정의와 분류 CVD의 역사 CVD 공정의 목표와 선택 기본기수과 주변기술 기본적 사항 결정 Si와 주변기술 아몰퍼스 Si계 반도체 화합물 반도체의 결정성장 CVD 법에 의한 세라믹 제조화 그 특징 CVD 반응장치의 설계 플라즈마 CVD 반응장치 미립자 생성 반응장치

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