인쇄

경기과학기술대학교 도서관

도서명 : Si 기판 위에 직류 마르네트론 스퍼
터링 방법으로 증착한 Ti 박막의 잔류 응력 변화와 잔류 응력이 TiSi2 형성 속도에 미치는 영향